?在半導(dǎo)體、光伏、新能源和制藥行業(yè)，超高純氣體過(guò)濾器已成為氣體輸送系統(tǒng)中不可或缺的組件。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)(SEMI)在 F20 與 F38 標(biāo)準(zhǔn)中明確指出，氣體管道中顆粒物濃度必須嚴(yán)格控制，否則將直接影響工藝良率和設(shè)備壽命。隨著芯片...

在半導(dǎo)體制造中，大宗氣體作為關(guān)鍵生產(chǎn)原料，其純度直接關(guān)系到晶圓制程的穩(wěn)定性與產(chǎn)品合格率。深圳恒歌專注半導(dǎo)體領(lǐng)域需求，推出供應(yīng)半導(dǎo)體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用設(shè)計(jì)，以全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性與...

恒歌 0F 系列在線式專用氣體過(guò)濾器作為點(diǎn)氣體專用過(guò)濾器中的佼佼者，是專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化打造的。它有著高達(dá) 0.003μm 的過(guò)濾精度，能精準(zhǔn)捕捉氣體中的微小顆粒，為工藝氣體的潔凈度保駕護(hù)航。該過(guò)濾器結(jié)構(gòu)緊湊且強(qiáng)度高，這一特點(diǎn)讓它...

恒歌高純高壓氣體專用過(guò)濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能過(guò)濾設(shè)備，過(guò)濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌氣體純化過(guò)濾器采用不銹鋼316L制成，通過(guò)物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過(guò)濾精度為3納米到100微米的顆粒過(guò)濾器。

恒歌高壓氣體專用過(guò)濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..

半導(dǎo)體企業(yè)在發(fā)展過(guò)程中，會(huì)面臨不同階段的挑戰(zhàn)：新建產(chǎn)線時(shí)要搶工期、控成本;老舊設(shè)備升級(jí)時(shí)要兼顧適配性與性價(jià)比;多品類芯片生產(chǎn)時(shí)要應(yīng)對(duì)不同工藝的差異化需求。這些挑戰(zhàn)中，工藝氣體過(guò)濾環(huán)節(jié)若掉鏈子，很容易拖慢整體進(jìn)度。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體...

半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對(duì)工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過(guò)濾器難以滿足全場(chǎng)景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過(guò)濾器，通過(guò) F 型、T 型、W 型三大類型的細(xì)分設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體多工藝...

在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開(kāi)設(shè)備實(shí)現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥，將 “高壓過(guò)濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中，氣體的純度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累，精心打造了專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的特氣柜電子氣氣體過(guò)濾器，為這些行業(yè)提供了...

電子氣作為半導(dǎo)體制造的 “血液”，其純度直接影響芯片的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)打造，為電子氣的潔凈輸送提供堅(jiān)實(shí)保障。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，氣體的高純度是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過(guò)濾器，采用先進(jìn)的納米級(jí)過(guò)濾技術(shù)，能夠高效去除氣體中的微小雜質(zhì)，確保氣體的高純度。該過(guò)濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mp...