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薄膜沉積過程中，氣體若含有微粒或烴類污染物，會導致薄膜孔洞、剝落或電性失效。例如，在CVD工藝中，顆粒物可能成為成核點，引起不均勻沉積;在PVD中，污染物可能干擾濺射靶材的純度。過濾器能消除湍流和顆粒攜帶問題，確保氣流平穩，防止工藝腔體污染...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片，是真空系統的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內傳遞大量氣體流，確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環過濾器，是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內傳遞大量氣體流，確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

不銹鋼濾器采用316L金屬粉末為原材料，無需添加黏合劑，經冷等靜壓成型后，通過高溫真空燒結制成。通過選配金屬粉末顆粒尺寸與工藝參數，調整孔隙大小與分布。恒歌可提供不同材質和尺寸的燒結金屬粉末元件，可以在較惡劣的溫度、壓力和腐蝕工況下使用

KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下，具備出色的穩定性，可確保產品完整性能夠達到 3.000.000 次循環，顯示出了較高的耐用程度和可...

KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗...