直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線型結構緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應用于實驗室、...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì),確保氣體的純凈度和質(zhì)量,為下游工藝提供可靠的氣體供應。

半導體潔凈室對氣路系統(tǒng)的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現(xiàn)了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝...

這款半導體制造超純氣體擴散器,巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um,能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒,為半導體制造提供超純的氣體環(huán)境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣...

恒歌MF系列儀器保護專用過濾器,全金屬材質(zhì),專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計,兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。

恒歌在線式大宗氣體系統(tǒng)過濾器專為半導體工藝氣體凈化設計,憑借卓越的過濾性能、可靠的結構設計與嚴格的質(zhì)量管控,成為半導體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設備,為半導體生產(chǎn)過程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障,助力提升半導體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。

采用316L金屬不銹鋼粉末為原材料,經(jīng)冷等靜壓成型后,通過高溫真空燒結制成。通過選配金屬粉末顆粒尺寸與工藝參數(shù),調(diào)整孔隙大小與分布。恒歌可提供不同材質(zhì)和尺寸的燒結金屬粉末元件,可以在較惡劣的溫度、壓力和腐蝕工況下使用;

微米級不銹鋼粉末燒結濾芯內(nèi)外管壁均光滑平整,氣孔分布均勻大小一致,強度好,過濾精度0.2-120微米可選。廣泛應用于環(huán)保、石油、天然氣、化工、環(huán)境探測、儀器儀表、制藥器械等領域。有十萬種以上的產(chǎn)品尺寸規(guī)格和類型可供選擇,也可根據(jù)需要定制加工...

氮氣環(huán) 選擇性波峰焊氮氣環(huán)墊圈由不銹鋼粉末經(jīng)高溫燒制而成,具有耐高溫,強度好等特點。選擇性波峰焊所用的氮氣需要使用氮氣環(huán)進行氣體分散、擴散,以保護噴頭,減少氧化。氮氣環(huán)的材質(zhì)也將會影響氮氣質(zhì)量,氮氣環(huán)需要用不銹鋼材質(zhì),不然容易沾錫,造成堵塞...

在半導體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的當下,工藝精度不斷提升,對高純氣體的潔凈標準提出了前所未有的高要求。恒歌半導體氣體過濾器憑借自主研發(fā)的核心技術與精細化制造工藝,打破傳統(tǒng)過濾設備的性能局限,為半導體制造、光伏及微電子等領域提供穩(wěn)定、高效的氣體凈化保障,...

?在半導體制造的精密世界里,電子氣體是驅動光刻、刻蝕、氣相沉積等核心制程運轉的 “血液”,而氣體純度則是決定晶圓質(zhì)量與成品率的 “生命線”。隨著芯片制程向 7nm、5nm 甚至更先進節(jié)點突破,對電子氣體中雜質(zhì)的容忍度已降至極致 —— 哪怕是...

