恒歌TF 系列全焊接直通型過濾器用于過濾系統(tǒng)粒子狀污染物,去除氣體或液體應(yīng)用中的顆粒污染物。

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計的高性能過濾設(shè)備，過濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..

在半導(dǎo)體潔凈室這一特殊生產(chǎn)環(huán)境中，工藝氣體過濾器不僅需要具備精準(zhǔn)的過濾能力，還需擁有出色的耐用性和抗污染能力，以適應(yīng)長期穩(wěn)定的潔凈生產(chǎn)需求。深圳恒歌TF系列工藝氣體專用過濾器中，以316不銹鋼卡套過濾器為代表的產(chǎn)品，憑借頂級316不銹鋼材質(zhì)...

在半導(dǎo)體制造過程中，UHP超純氣體作為關(guān)鍵生產(chǎn)介質(zhì)，其純凈度直接決定芯片的電路精度與使用壽命。一旦超純氣流中混入微小顆粒，輕則導(dǎo)致芯片出現(xiàn)瑕疵，重則引發(fā)整批次產(chǎn)品報廢，給企業(yè)帶來巨大經(jīng)濟損失。深圳恒歌研發(fā)的超純氣流微粒直通一體式過濾器，專為...

半導(dǎo)體企業(yè)在發(fā)展過程中，會面臨不同階段的挑戰(zhàn)：新建產(chǎn)線時要搶工期、控成本;老舊設(shè)備升級時要兼顧適配性與性價比;多品類芯片生產(chǎn)時要應(yīng)對不同工藝的差異化需求。這些挑戰(zhàn)中，工藝氣體過濾環(huán)節(jié)若掉鏈子，很容易拖慢整體進度。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體...

?在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對于超純工藝氣體的需求極為嚴(yán)苛。微小的雜質(zhì)顆粒都可能對芯片制造等高精度生產(chǎn)環(huán)節(jié)產(chǎn)生嚴(yán)重影響，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降甚至報廢。因此，精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒，保障生產(chǎn)環(huán)境的純凈度，成為了半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的核心任務(wù)之一。...

半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細(xì)分設(shè)計，實現(xiàn)了對半導(dǎo)體多工藝...

在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設(shè)備實現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片，是真空系統(tǒng)的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環(huán)過濾器，是真空系統(tǒng)中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

想要讓空壓機系統(tǒng)持續(xù)輸出質(zhì)量穩(wěn)定的壓縮氣體，同時維持設(shè)備的高能效運轉(zhuǎn)，定期對核心部件進行維護必不可少，其中精密過濾器濾芯的定期更換尤為關(guān)鍵。長期以來，不少使用者習(xí)慣通過觀察過濾器前后的壓力差值來判斷濾芯是否該更換，畢竟這一指標(biāo)能直觀反映設(shè)備...