恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設計的高效過濾設備。其過濾精度高達0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結構緊湊、強度高，與多種半導體...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業集成氣體輸送與控制系統設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，...

恒歌納米級高壓氣體專用過濾器，專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統量身打造。其采用堅固的 316L 不銹鋼整體結構，設計壓力達 50Mpa，重量相對較輕，實現輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質，線型結構緊湊，用于空間受限的環境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應用于實驗室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質，確保氣體的純凈度和質量，為下游工藝提供可靠的氣體供應。

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決...

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統設計的高性能過濾設備，過濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質去除，并且在316L不銹鋼罐體中內置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫...

適用于高壓工況下的氣體及液體過濾，體積小，安裝方便，為高壓運行系統提供了相當高的技術和經濟優勢。產品應用范圍廣，與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降

恒歌不銹鋼高純氣體系統過濾器對于超純氣體可通過多級處理滿足工況要求，產品無焊接部位，耐壓性能、安全系數極高，適用于高壓工況下的氣體及液體過濾，體積小，安裝方便，為高壓運行系統提供了相當高的技術和經濟優勢。為一些超高壓工況研發設計，具有結構簡...