MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲...

TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導體領域設計，精準清除UHP超純氣流微粒，保障生產純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風險，確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現卓越微粒過濾效率，...

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統，兼容C型和W型多種密封規格，實現0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容...

KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

在現代工業生產中，大宗氣體的高效過濾是確保生產流程順暢和產品質量的關鍵環節。特別是在半導體、電子、化工等對氣體純度要求極高的領域，選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性，成為滿足大...

選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質、流量、過濾精度、壓力等多方面因素，以下是具體的選擇方法：

在半導體制造過程中，化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關鍵工藝環節對氣體純凈度要求極高。過濾器能夠高效捕捉并去除氣體中的塵埃、金屬微粒等雜質，確保進入工藝區域的氣體純凈度達到極高的標準，從...

恒歌不銹鋼VCR過濾墊片是一種安裝在VCR接頭中的密封元件，通常用于氣體管路系統。它通過金屬墊片的彈性變形實現密封，同時可以過濾氣體中的微小顆粒雜質，并對氣體流量進行一定程度的限制。

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經高溫燒結制成，具有良好的機械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點；濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用，使用壽命長；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質，改善下游干燥機的功能，延長精密...